1.四氟化碳可由碳和氟反应、一氧化碳和氟反应、碳化硅和氟反应、氟石氟二氯甲烷和氟化氢、四氯化碳和氟化银、四氯化碳和氟化氢产生。氢氧化铬在高温镍管中填充四氯化碳与氟化氢的反应。通过水洗和碱洗去酸性气体，然后冷冻，用硅胶去除气体中的水分，最后蒸馏成品。

　　2.提前称5~10g碳化硅粉和0.1g将单质硅粉放入镍盘中，使硅与碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，将氟气放入反应管中。氟首先与单质硅反应。加热后，氟开始与碳化硅反应，通过等量的干氮稀释氟，继续反应，通过液氮冷却产生的镍捕集器冷凝气体，然后慢慢气化，用氢氧化钠溶液去除四氟化硅，然后通过硅和五氧化二磷干燥塔获得最终产品。

　　3.以活性炭和氟为原料制备氟化反应。在装有活性炭的反应炉中，通过加热器加热、氟化速率和反应炉冷却，慢慢进入高氟气体，控制反应温度。产品经过除尘和碱洗涤HF、CoF2、SiF4、CO二等杂质，再脱水可获得含量约85%的粗品。通过控制蒸馏温度，将粗品引入低温蒸馏器进行间歇性蒸馏，去除粗品O2、N2、H2，得到高纯CF4。